當(dāng)Edwards真空分子泵維修出現(xiàn)故障無(wú)法使用時(shí)，應(yīng)暫停生產(chǎn)，并在手動(dòng)充滿空氣后更換備用分子泵。 全文

varian渦輪分子泵操作完成后，應(yīng)先關(guān)閉高真空閥，然后再關(guān)閉低真空閥。然后停止旋轉(zhuǎn)葉片真空泵，然后放氣（例如，使用電磁真空皮帶放氣閥自動(dòng)放氣），以避免機(jī)油回流到真空系統(tǒng)，終切斷了主電源。停水了。 全文

萊寶分子泵SOGEVAC系列SV200單級(jí)旋片真空泵，工作原理是滑片泵，高真空度，是廢氣收集真空泵選擇之一。 全文

當(dāng)出現(xiàn)警告信息“ EF”時(shí)，檢查冷卻水通道是否暢通，并用機(jī)q進(jìn)行檢查。 在再次打開(kāi)愛(ài)德華分子泵維修之前，請(qǐng)確保水路暢通。 當(dāng)出現(xiàn)其他報(bào)警信號(hào)時(shí)，嚴(yán)禁再次啟動(dòng)分子泵進(jìn)行后處理。 全文