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varian渦輪分子泵操作完成后，應(yīng)先關(guān)閉高真空閥，然后再關(guān)閉低真空閥。然后停止旋轉(zhuǎn)葉片真空泵，然后放氣（例如，使用電磁真空皮帶放氣閥自動(dòng)放氣），以避免機(jī)油回流到真空系統(tǒng)，終切斷了主電源。停水了。
varian渦輪分子泵長(zhǎng)時(shí)間未操作或環(huán)境溫度較低時(shí)，可能會(huì)導(dǎo)致啟動(dòng)困難。此時(shí)，真空泵的吸入口應(yīng)排空到大氣中，并且皮帶輪應(yīng)隨風(fēng)旋轉(zhuǎn)。儲(chǔ)存在腔體中的機(jī)油將排入燃油箱并可以啟動(dòng)。如果不可能，則可以通過(guò)輻射加熱或紅外燈直接加熱真空泵，直到動(dòng)態(tài)停止為止。
在正常傳輸之前，應(yīng)對(duì)真空泵進(jìn)行一次測(cè)試，以檢查varian渦輪分子泵是否具有異常的振動(dòng)和沖擊動(dòng)力學(xué)特性。使用的真空泵還應(yīng)確定真空泵的極限壓力，該極限壓力應(yīng)符合技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)。在長(zhǎng)期運(yùn)行的條件下，真空泵不應(yīng)超過(guò)70度。干抽速的測(cè)定。干燥比較復(fù)雜，通常不檢查。

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