凈化車間空氣過濾方案,凈化車間中各級空氣潔凈度的空氣凈化處理,均應采用初效、中效、高效空氣過濾器三級過濾。100000級空氣凈化處理,可采用亞高效空氣過濾器代高效空氣過濾器。空氣過濾器的選用安置和裝置方法,應契合:初效空氣過濾器不應選用浸油式過濾器;中效空氣過濾器宜會集設置在凈化空氣調(diào)節(jié)體系的正壓段;高效空氣過濾器或亞高效空氣過濾器宜設置在凈化空氣調(diào)節(jié)體系末端,高效空氣過濾的裝置方法應簡便牢靠,宜檢漏和替換;中效、亞高效、高效空氣過濾器宜按額定風量選用;阻力、效率相近的高效空氣過濾器宜設置在同一凈化車間內(nèi)。斷定會集或渙散式凈化空氣調(diào)節(jié)體系時,應綜合考慮生產(chǎn)工藝的特色和凈化車間空氣的潔凈度等級、面積、方位等要素。凡生產(chǎn)工藝接連、無塵室或凈化車間面積較大時,方位會集以及噪聲操控和振動操控要求嚴厲的潔凈室,宜采用會集式凈化空氣調(diào)節(jié)體系。









空氣風淋室安裝時,根據(jù)設計的坐標位置或土建施工預留的位置進行就位;設備的地面應水平、平整,在設備的底部與地面接觸的平面,應根據(jù)設計要求墊隔振層,使設備保持縱向垂直、橫向水平;設備的機械、電氣連鎖裝置應處于正常狀態(tài),風機與電加熱、內(nèi)外門及內(nèi)門與外門的連鎖等;設備與圍護結(jié)構(gòu)連接的接縫,應配合土建施工做好密封處理。

凈化車間工程中有哪些需要關(guān)注的細節(jié)。企業(yè)保證生產(chǎn)環(huán)境是非常必要的。例如,工廠選址、總平面設計、車間布局、設備選型、生產(chǎn)和產(chǎn)品質(zhì)量管理等“大問題”是重要的監(jiān)控點。然而,在10萬級凈化車間項目的設計和實施中,半導體凈化工程施工,有一些細節(jié)需要特別注意??照{(diào)凈化中需要注意的節(jié)能。10萬級凈化車間工程空調(diào)凈化是一項主要的能源消耗,在設計和施工中應采取節(jié)能措施。在設計中,系統(tǒng)和面積的劃分、供氣量的計算、溫度和相對溫度的確定、潔凈水平和換氣率的確定、新風比、風管的保溫、風管制造中咬口形式對漏風率的影響、主支管連接角度對氣流阻力的影響、法蘭連接是否漏氣、空調(diào)箱、風機、冷水機組等設備的選擇都與能耗有關(guān)。因此,在100,000級凈化車間項目中必須考慮這些細節(jié)。


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