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沈陽東創(chuàng)貴金屬材料有限公司
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中國的工業(yè)，由于長期處于計劃經(jīng)濟體制內(nèi)，發(fā)展比較緩慢，對于金銀而言，香檳金靶材廠家，可以說是歷史悠久，源遠流長了，但在改革開放前，沒有納入國家計劃渠道的，直至2002年10月30日上海黃金正式開業(yè)，才宣告了計劃經(jīng)濟時金銀管理條例的失效，而鉑族金屬工業(yè)更是起步晚、技術(shù)落后，直到改革開放以后，才有了突飛猛進的發(fā)展，香檳金靶材誰家好，但與國際上的國家相比較，依然是落在人家后面，因此在中國無論是的投資儲備需求，還是實際的應(yīng)用需求。
而未米的0.18um}藝甚至0.13m工藝，所需要的靶材純度將要求達到5甚至6N以上。銅與鋁相比較，銅具有更高的抗電遷移能力及更低的電阻率，滁州香檳金靶材，能夠滿足！導(dǎo)體工藝在0.25um以下的亞微米布線的需要但卻帶米了其他的問題：銅與有機介質(zhì)材料的附著強度低．并且容易發(fā)生反應(yīng)，導(dǎo)致在使用過程中芯片的銅互連線被腐蝕而斷路。
為了解決以上這些問題，需要在銅與介質(zhì)層之間設(shè)置阻擋層。阻擋層材料一般采用高熔點、高電阻率的金屬及其化合物，因此要求阻擋層厚度小于50nm，與銅及介質(zhì)材料的附著性能良好。銅互連和鋁互連的阻擋層材料是不同的．需要研制新的靶材材料。銅互連的阻擋層用靶材包括Ta、W、TaSi、WSi等．但是Ta、W都是難熔金屬．制作相對困難，如今正在研究鉬、鉻等的臺金作為替代材料。
近年，隨著圖像質(zhì)量的提高，色粉直徑也越來越小。在微孔孔徑較大的發(fā)泡輥筒中，色粉進入輥筒的微孔內(nèi)不易去除，香檳金靶材技術(shù)，所以存在圖像混亂的問題。因此，對于使用微細(xì)色粉的高畫質(zhì)復(fù)印機和打印機用輥筒，特別是色粉供給輥，要求更細(xì)的微孔。在制造發(fā)泡輥筒時，與間歇式方法相比，連續(xù)硫化處理法的優(yōu)點是能夠使發(fā)泡微孔的直徑更小。以往的導(dǎo)電輥使用了不會因其中的導(dǎo)電性填充劑的不均勻而導(dǎo)致電阻值不均勻的離子導(dǎo)電性橡膠，但是問題在于很難采用經(jīng)濟上及效率上都有利的連續(xù)硫化法進行制造。
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第9年
