




流量控制器
怎樣進(jìn)行不同氣體的質(zhì)量流量換算?
產(chǎn)品出廠一般是按氮?dú)鈽?biāo)定﹑按氮?dú)饬髁看_定流量規(guī)格。用同一規(guī)格的MFM/MFC測量不同的氣體,當(dāng)流量檢測值相同時,實(shí)際的流量值可能不同。我們在說明書中給出了不同氣體相對于標(biāo)定氣體(氮?dú)猓┑馁|(zhì)量流量轉(zhuǎn)換系數(shù)。
如果您使用的產(chǎn)品是標(biāo)準(zhǔn)出廠產(chǎn)品(按氮?dú)鈽?biāo)定顯示),而需要知道實(shí)際使用氣體的質(zhì)量流量時,先在產(chǎn)品說明書中找到實(shí)際使用氣體的轉(zhuǎn)換系數(shù)。在測量過程中,超聲波流量計(jì)報價,以此系數(shù)乘以流量顯示值即是實(shí)際使用氣體的質(zhì)量流量;反之,在確定所購產(chǎn)品的量程時,超聲波流量計(jì)哪里有,以實(shí)際使用氣體的期望流量值除以轉(zhuǎn)換系數(shù),即是相應(yīng)的氮?dú)鈽?biāo)定產(chǎn)品的流量值。
空氣、O2﹑H2﹑CO﹑HCL、HF等氣體,其轉(zhuǎn)換系數(shù)約為1.0 , 一般可直接用按氮?dú)鈽?biāo)定顯示的產(chǎn)品,不必?fù)Q算。

什么是流量控制器?
質(zhì)量流量計(jì),即Mass Flow Meter(縮寫為MFM), 是一種準(zhǔn)確測量氣體流量的儀表,超聲波流量計(jì)哪家好,其測量值不因溫度或壓力的波動而失準(zhǔn),不需要溫度壓力補(bǔ)償。
質(zhì)量流量控制器, 即Mass Flow Controller(縮寫為MFC), 不但具有質(zhì)量流量計(jì)的功能,更重要的是,它能自動控制氣體流量,即用戶可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定,MFC自動地將流量恒定在設(shè)定值上,即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化,也不會使其偏離設(shè)定值。簡單地說,質(zhì)量流量控制器就是一個穩(wěn)流裝置, 是一個可以手動設(shè)定或與計(jì)算機(jī)聯(lián)接自動控制的氣體穩(wěn)流裝置。
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流量控制器的特點(diǎn)
地定量控制流量
質(zhì)量流量控制器可以地控制氣體的給定量,這對很多工藝過程的流量控制、對于不同氣體的比例控制等特別有用。
適用范圍寬
有很寬的工作壓力范圍,我們的產(chǎn)品可以從真空直到10MPa; 可以適用于多種氣體介質(zhì)(包括一些腐蝕性氣體,如HCL);有很寬的流量范圍,我們的產(chǎn)品流量范圍可達(dá)0~5 sccm,超聲波流量計(jì),流量范圍可達(dá)0~200 slm。流量顯示的分辨率可達(dá)滿量程的0.1%, 流量控制范圍是滿量程的2~100% 量程比為-- 50:1, 因此在很多領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。
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