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導熱真空計為何易衰老？答：因熱絲長期性運行在持續(xù)高溫下，受汽體功效易空氣氧化變窄，或造成熱絲自身結(jié)晶體結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)變，因而會更改熱絲的電阻器，導致零點的飄移，這也是歸屬于熱絲本身的。熱絲表層因會吸咐汽體而更改了表層的融入指數(shù)，即熱交換器的體制，導致敏感度的轉(zhuǎn)變。以上均歸屬于衰老狀況。

Inficon UL200氦質(zhì)譜檢漏儀采用Leybold 35LS分子泵，Inficon UL200氦質(zhì)譜檢漏儀*高檢測到up to 5 x 10-10 mbar l s-1.

真空檢漏可分成哪兩類？答：可以分成：1）工作壓力檢漏法，包含①打氣檢漏法，②鹵素燈泡檢漏法，③氨檢漏法。2）真空檢漏法，包含①高頻率火苗檢漏法，②真空計檢漏法，英福康分子泵維修保養(yǎng)服務(wù)，③質(zhì)譜儀檢漏法。

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危害熱陰極水解真空計測量低值的原因是什么？怎樣改善？

答：電子器件打進搜集極上造成軟X射線輻射源，正離子搜集極消化吸收了軟X射線會造成光電材料發(fā)送，從而產(chǎn)生的電子器件電流量恰好與正離子電流的方向一致，故累加在一起，但此電流量與工作壓力不相干，當工作壓力下降到產(chǎn)生的電離電流量顯著低于光電流時，搜集極的離子流便不會再隨工作壓力轉(zhuǎn)變，即抵達測量低值。擴大離子流，減少光電流可以使測量低值的擴展。

薄膜電容規(guī)

在不同壓力下金屬膜片受力不同會有不同尺度的變形，使得金屬膜片和電極之間的電容變化，通過測量電容的變化量，即可知道金屬膜片上氣壓的變化。

這種規(guī)的測量范圍一般橫跨4個量級，比如可能是0.01Pa至100Pa、0.1Pa至1000Pa等。

這種規(guī)的優(yōu)點是靈敏度很高。缺點是必須在高于環(huán)境溫度的恒溫條件下使用，以消除溫度不同對膜片力學性能的影響，使用前一般需要預熱數(shù)小時。

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氦質(zhì)譜檢漏儀故障與處理

定位方法

采用噴吹法對各密封部位的氣密性進行檢測，因檢漏儀內(nèi)部結(jié)構(gòu)緊湊，各密封結(jié)構(gòu)間的距離很近，檢測時定位難度較大。經(jīng)摸索，在檢測時采用以下技巧，小型氦質(zhì)譜檢漏儀品牌，可提高定位的能力：①查漏前，先將分子泵風扇的電源斷開，避免風扇將氦源吹散至各個密封環(huán)節(jié)，小型氦質(zhì)譜檢漏儀價格，造成定位不準確。②噴吹時，要嚴格控制氦源的流量，盡量采用噴咀流量小的噴，提高定位的能力。③儀器的反應時間小于1 s，小型氦質(zhì)譜檢漏儀公司，所以在一個部位噴吹的時間約3 s，再等待約3 s 后觀測信號有無變化。

氦質(zhì)譜檢漏儀優(yōu)勢特點

1.采用便攜式設(shè)計

2.設(shè)備外型美觀小巧

3.采用液晶觸摸屏設(shè)計

4.有通訊接口

5.可以方便地將檢漏數(shù)據(jù)輸出

傳感器是個二極管，加熱絲、陰極(外筒)、陽極(內(nèi)筒)均用鉑材制成。陽極被加熱絲加熱后發(fā)射正離子，被陰極接收的離子流由檢流計(或放大器)指示出來，且有音響指示。電氣部分由加熱電源、直流電源、離子流放大器、輸出顯示及便攜式的吸氣裝置電源等組成。

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