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生物掃描電鏡測試服務(wù)-科銳諾生物科技

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高分辨率的圖像要求樣品盡量的薄,電子束的能量盡量的高。因此可以認(rèn)為電子不會被樣品吸收,樣品也就無法改變電子波的振幅。由于在這種情況下樣品僅僅對波的相位造成影響,這樣的樣品被稱作純相位物體。純相位物體對波相位的影響遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過對波振幅的影響,因此需要復(fù)雜的分析來得到觀察到的圖像強(qiáng)度。例如,為了增加圖像的對比度,TEM需要稍稍離開聚焦位置一點(diǎn)。這是由于如果樣品不是一個(gè)相位物體,和TEM的對比度傳輸函數(shù)卷積以后將會降低圖像的對比度。

所以反映在電鏡圖像上,改變焦距的時(shí)候會出現(xiàn)兩個(gè)嚴(yán)重的拉伸,拉伸方向可能因樣品而不同,但是這兩個(gè)拉伸方向一定正交。所以此時(shí)將焦距調(diào)節(jié)至兩個(gè)拉伸明顯狀態(tài)的中間位置,基本固定焦距。然后在此焦距下,生物掃描電鏡測試服務(wù),進(jìn)行消像散線圈的調(diào)節(jié),先調(diào)X或Y中的一個(gè)維度,待圖像達(dá)到清楚后再調(diào)節(jié)另一個(gè)維度。

有關(guān)拉伸方向的判斷并不困難,試樣中的各種特征點(diǎn)都可以作為判斷依據(jù),比如孔洞或者顆粒,或者樣品邊緣,都可以輕易的進(jìn)行判斷。尤其在像散比較大時(shí),不要焦距和像散的兩個(gè)維度亂調(diào)一氣,以免像散過大而完全無從判斷。

C1、C2的工作原理是通過改變聚光透鏡線圈中的電流,來達(dá)到改變透鏡所形成的磁場強(qiáng)度的變化,磁場強(qiáng)度的變化(亦即折射率發(fā)生變化)能使電子束的會聚點(diǎn)上下移動,在樣品表面上電子束斑會聚得越小,能量越集中,亮度也越大;反之束斑發(fā)散,照射區(qū)域變大則亮度就減小。通過調(diào)整聚光鏡電流來改變照明亮度的方法,實(shí)際上是一個(gè)間接的調(diào)整方法,亮度的大值受到電子束流量的限制。如想更大程度上改變照明亮度,只有通調(diào)整前面提到的電子qiang中的柵極偏壓,才能從根本上改變電子束流的大小。在C2上通常 裝配有活動光闌,用以改變光束照明的孔徑角,一方面可以限制投射在樣品表面的照明區(qū)域,使樣品上無需觀察的部分免受電子束的轟擊損傷;另一方面也能減少散射電子等不利信號帶來的影響。

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