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還有一種新型的電子場(chǎng)發(fā)射式電子qiang，由1個(gè)陰極和2個(gè)陽(yáng)極構(gòu)成，陽(yáng)極上施加一稍低（相對(duì)第2陽(yáng)極）的吸附電壓，用以將陰極上面的自由電子吸引出來(lái)，而第2陽(yáng)極上面的極高電壓，將自由電子加速到很高的速度發(fā)射出電子束流。這需要超高電壓和超高真空為工作條件，它工作時(shí)要求真空度達(dá)到10-7Pa，熱損耗，使用壽命可達(dá)2000 h；電子束斑的光點(diǎn)更為尖細(xì)，直徑可達(dá)到10nm以下，較鎢絲陰極（大于10nm）縮小了3個(gè)數(shù)量級(jí)；由于發(fā)光，它發(fā)出光斑的亮度能達(dá)到10 A/cm·s，較鎢絲陰極（106 A/cm·s ）也提高了3個(gè)數(shù)量級(jí)。場(chǎng)發(fā)射式電子因技術(shù)、造價(jià)昂貴，只應(yīng)用于高分辨電鏡當(dāng)中。

電子束穿過(guò)樣品時(shí)會(huì)攜帶有樣品的信息，TEM的成像設(shè)備使用這些信息來(lái)成像。投射透鏡將處于正確位置的電子波分布投射在觀察系統(tǒng)上。觀察到的圖像強(qiáng)度，I，在假定成像設(shè)備質(zhì)量很高的情況下，植物抗性淀粉掃描電鏡檢測(cè)，近似的與電子波函數(shù)的時(shí)間平均幅度成正比。若將從樣品射出的電子波函數(shù)表示為Ψ，則不同的成像方法試圖通過(guò)修改樣品射出的電子束的波函數(shù)來(lái)得到與樣品相關(guān)的信息。根據(jù)前面的等式，可以推出觀察到的圖像強(qiáng)度依賴(lài)于電子波的幅度，同時(shí)也依賴(lài)于電子波的相位。雖然在電子波幅度較低的時(shí)候相位的影響可以忽略不計(jì)，但是相位信息仍然非常重要。

早期電鏡中曾采用過(guò)機(jī)械式消像散器，利用手動(dòng)機(jī)械裝置來(lái)調(diào)整電磁透鏡周?chē)男〈盆F 組成的消像散器，來(lái)改變透鏡磁場(chǎng)分布的缺陷。但由于調(diào)整的性和使用的方便性均難令人滿(mǎn)意，這種方式已被淘汰。消像散器由圍繞光軸對(duì)稱(chēng)環(huán)狀均勻分布的8個(gè)小電磁線(xiàn)圈構(gòu)成，用以消除（或減小）電磁透鏡因材料、加工、污染等因素造成的像散。其中每4個(gè)互相垂直的線(xiàn)圈為1組，在任一直徑方向上的2個(gè)線(xiàn)圈產(chǎn)生的磁場(chǎng)方向相反，用2組控制電路來(lái)分別調(diào)節(jié)這2組線(xiàn)圈中的直流電流的大小和方向，即能產(chǎn)生1個(gè)強(qiáng)度和方向可變的合成磁場(chǎng)，以補(bǔ)償透鏡中所原有的不均勻磁場(chǎng)缺陷（圖中橢圓形實(shí)線(xiàn)），以達(dá)到消除或降低軸上像散的效果。

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