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沈陽東創(chuàng)貴金屬材料有限公司
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在深加工產(chǎn)品這一領(lǐng)域，如何來提升產(chǎn)品的技術(shù)含量和檔次，納米技術(shù)、納米材料的科學研究，實踐應用是這個產(chǎn)業(yè)向產(chǎn)業(yè)化發(fā)展的方向，成為當代關(guān)注和競爭的主要課題。
納米、（nm）納米技術(shù)、納米材料是當代科技領(lǐng)域中的熱門名詞，純銀靶材生產(chǎn)加工，已經(jīng)成為現(xiàn)實和潛在的巨大的應用前景的納米銀線，已在山東、浙江、北京等地進入人們的視野，并進入國際市場，如果按照銀的當前價7元/克計算的話，納米銀線的價格將是銀價的350倍以上。
平面顯示器（FPD)這些年來大幅沖擊以陰極射線管(CRT)為主的電腦顯示器及電視機市場，亦將帶動ITO靶材的技術(shù)與市場需求。如今的iTO靶材有兩種．一種是采用納米狀態(tài)的氧化銦混合后燒結(jié)，一種是采用銦錫合金靶材。銦錫臺金靶材可以采用直流反應濺射制造ITO薄膜，但是靶表面會氧化而影響濺射率，純銀靶材技術(shù)，并且不易得到大尺寸的臺金靶材。如今一般采取方法生產(chǎn)ITO靶材，利用L}IRF反應濺射鍍膜．它具有沉積速度快．且能控制膜厚，電導率高，薄膜的一致性好，與基板的附著力強等優(yōu)點。
背靶材料：
無氧銅(OFC)– 目前常使用的作背靶的材料是無氧銅，因為無氧銅具有良好的導電性和導熱性，而且比較容易機械加工。 如果保養(yǎng)適當，無氧銅背靶可以重復使用10次甚至更多。
鉬(Mo)– 在某些使用條件比較特殊的情況下，滁州純銀靶材，如需要進行高溫帖合的條件下，純銀靶材工藝，無氧化銅容易被氧化和發(fā)生翹曲， 所以會使用金屬鉬為背靶材料或某些靶材如陶瓷甚至某些金屬靶材的熱膨脹系數(shù)無法與無氧銅匹配，同樣也需要使用金屬鉬作為背靶材料。
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第9年
