各種類型的濺射薄膜材料在半導體集成電路(VLSI)、光碟、平面顯示器以及工件的表面涂層等方面都得到了廣泛的應用。20世紀90年代以來,濺射靶材及濺射技術的同步發(fā)展,極大地滿足了各種新型電子元器件發(fā)展的需求。例如,云南純銀板材,在半導體集成電路制造過程中,純銀板材工藝,以電阻率較低的銅導體薄膜代替鋁膜布線:在平面顯示器產(chǎn)業(yè)中,各種顯示技術(如LCD、PDP、OLED及FED等)的同步發(fā)展,有的已經(jīng)用于電腦及計算機的顯示器制造;在信息存儲產(chǎn)業(yè)中,純銀板材加工,磁性存儲器的存儲容量不斷增加,新的磁光記錄材料不斷推陳出新這些都對所需濺射靶材的質(zhì)量提出了越來越高的要求,需求數(shù)量也逐年增加。







各種純度鋁中的雜質(zhì)含量及剩余電阻率如表2所示。超純金屬超純的純度也可以用剩余電阻率來測定,其值約為2×10-5?,F(xiàn)代科學技術的發(fā)展趨勢是對金屬純度要求越來越高。因為金屬未能達到一定純度的情況下,純銀板材回收,金屬特性往往為雜質(zhì)所掩蓋。不僅是半導體材料,其他金屬也有同樣的情況,由于雜質(zhì)存在影響金屬的性能。

鎢過去用作燈泡的燈絲,由于脆性而使處理上有困難,在適當提純之后,這種缺點即可以克服(鎢絲也有摻雜及加工問題)。
稀土金屬制取(preparation of rare earth metal),將稀土化合物還原成金屬的過程。還原所制得的稀土金屬產(chǎn)品含稀土95%~99%,主要用作鋼鐵、有色金屬及其合金的添加劑,以及用作生產(chǎn)稀土永磁材料、貯氫材料等功能材料的原料。瑞典人穆桑德爾(C.G.Mosander)自1826年先制得金屬以來,現(xiàn)已能生產(chǎn)全部稀土金屬,產(chǎn)品純度達到99.9%。常用的方法有金屬熱還原法制取稀土金屬和熔鹽電解法制取稀土金屬 。


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