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山東晴朗凈化科技有限公司
主營：凈化工程,無塵車間,凈化車間,無菌室
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潔凈室中的溫濕度控制：
潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。
具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產的光刻曝光工藝中，工廠強電安裝，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，工廠強電設計，對產品將有污染，特別是怕鈉的半導體車間，這種車間不宜超過25度。
濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會結露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高，粘附的難去掉，但當相對濕度低于30%時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時大量半導體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產蕞佳溫度范圍為35—45%。
無塵凈化車間潔凈棚的優(yōu)勢，施工速度快，安裝方便，操作簡便靈活，可移動。成本較低，維護方便，對樓層高度低不限。容易控制，工廠強電安裝，FFU每臺自帶風機。潔凈棚的框架一般有三種：不鏽鋼方通，鐵方通，鋁型材。潔凈棚頂部材料一般有三種，不鏽鋼板，冷軋鋼板噴塑，防靜電網格圍簾，有機玻璃。潔凈送風部分，一般選擇FFU層流罩（FFU風機過濾單元）潔凈棚的圍護材料一般包括：防靜電圍簾，（防靜電）有機玻璃。無塵凈化車間清潔潔凈室的地面應使用拖把。在潔凈室里吸塵應使用帶有高效過濾器的真空吸塵器。所有的門都需要檢查并擦干，吸完地以后再擦地。一周擦一次墻面，架空地板下也要吸塵及擦拭。三個月擦一次架空地板底下的柱子和支撐柱。工作時一定要記住，永遠是由上往下擦，從離門遠的地方向門的方向擦。
無塵車間一般至少要采用初、中、高三級過濾器過濾，而這三級過濾器的阻力加起來就有700～800帕左右，無塵車間一般也要采用集中送、回風的方式，郴州工廠強電，以保證維持無塵車間的正負壓調節(jié)的要求，所以無塵車間的管道阻力一般比普通空調的要多一倍以上。需要克服這些阻力，就要求空氣處理機組的送風機有足夠的壓頭，GMP無塵車間，所以無塵車間的空氣處理機組的送風機組一般采用后彎機翼型的風機，精密電子無塵車間，或者是無窩殼的風機，才能達到足夠高送回風壓頭。
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