廣州潽拓光電科技有限公司——普發(fā)真空分子泵ATH3200渦旋分子泵

由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時(shí)選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對(duì)ya有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對(duì)稱陰極濺射離子泵）對(duì)ya有一定的抽速，兩者組合起來，便會(huì)使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空；有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓，需要前級(jí)泵，故都需要把泵組合起來使用。

渦輪分子泵 HiPace 350 特性出色的抽速， 適用于小分子氣體

堅(jiān)固的高xing能渦輪分子泵，氮?dú)獬樗倏蛇_(dá) 300 l/s

結(jié)構(gòu)緊湊， 性能強(qiáng)大

任意方向安裝

輕和重氣體的高抽速

高工藝完整性，可抵抗顆粒物

高氣體通量，普發(fā)真空分子泵ATH3200，即使是重氣體

無油(耐腐蝕)立式往復(fù)真空泵是臥式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品，是獲得粗真空的主要設(shè)備。由于采用全密封裝置，實(shí)現(xiàn)了曲軸箱和汽缸的完全隔離；加上活塞環(huán)使用了自潤滑材料，便實(shí)現(xiàn)了的無油潤滑。由于無污水排放，所以該型真空泵特別適用于化工、yi藥和食品等行業(yè)的真空蒸餾、真空蒸發(fā)、真空干燥、真空濃縮、真空浸漬等工藝過程中。

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由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長。為了提高抽速，國外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸汽被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用，既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著我國半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展，分子泵應(yīng)該是我國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點(diǎn)。首先，分子泵要從小到大建立完整系列，并研究開發(fā)各種復(fù)合分子泵、牽引泵和低溫分子泵，以滿足不同場合的需要。

潽拓維修/維修/保養(yǎng)/銷售Pfeiffer普發(fā)TMH系列：

TMH064、TMH065、TMH071、TMH200、TMH260、TMH261、TMH262 、TMH301、TMH400MP、TMH520 、TMH521、TMH532、TMH1000、TMH1001、TMH1600、TMH1601、TMH261-130、TMH261-250、TMH261-250-040、TMH261-250P-3P、TMH071-010-005P、TMH071-012-005X、TMH071-012-005X-3P等

從原理上來看，渦輪分子泵是一種在殼體中快速旋轉(zhuǎn)的渦輪，渦輪的各級(jí)都配備了多個(gè)轉(zhuǎn)子葉片。旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子葉片之間裝有固定的定子盤，其葉片按相反方向放置。

通過旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子葉片將動(dòng)量傳遞到氣體分子，氣體分子zui初的非定向熱運(yùn)動(dòng)變成定向運(yùn)動(dòng)，即從泵的進(jìn)口延軸方向移動(dòng)到排氣口。

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預(yù)防真空泵因缺真空泵油而卡死

1、定期更換真空泵油，根據(jù)行業(yè)不同，真空泵油的質(zhì)量不同，而制定不同的更換周期，一般來說700---3000小時(shí)更換一次，同時(shí)還要更換 真空泵油過濾器，注意，每次更換真空泵油要CHE底把真空泵油更換掉，不要只是添加。

2、定期清洗真空泵油管。

3、定期更換真空泵油霧分離器，俗稱的排氣過濾器，防止真空泵油隨著尾氣排出真空泵，造成真空泵油的減少。

渦輪分子泵 HiPace 1500 特性

對(duì)各種氣體的高抽吸能力: 不論是小分子量氣體 (H2， He) 和大分子量氣體 (Ar， CF4) 都有很高的抽速.

高工藝適用性， 防止進(jìn)入顆粒， 高氣流量

分子泵獲得 SEMI S2， UL， CSA， TüV 認(rèn)證

防護(hù)等級(jí) IP 54， 符合工業(yè)環(huán)境應(yīng)用要求

運(yùn)行數(shù)據(jù)監(jiān)控形成的Z高運(yùn)行安全性

分子泵安裝角度可選 0-90° 或 90-180°

提供抗腐蝕型號(hào)

帶節(jié)流閥和閥門的集成凈化氣體系統(tǒng)

具有Z高 1450 l/s 抽吸能力的高XING能渦輪泵

適用于輕氣體和重氣體的高抽吸能力

高工藝適用性，防止進(jìn)入顆粒

對(duì)于重氣體同樣擁有高氣體通過量

準(zhǔn) S2 和 UL/CSA 認(rèn)證

運(yùn)行數(shù)據(jù)監(jiān)控形成的Z高運(yùn)行安全性

每一臺(tái)的進(jìn)口真空泵都是會(huì)有很詳細(xì)的保養(yǎng)維護(hù)說明，一般來說，只要是人們的這種進(jìn)口真空泵出現(xiàn)問題的時(shí)候，大家都是要首先通過設(shè)備的保養(yǎng)維護(hù)的要求來對(duì)比查找是不是自己在進(jìn)行產(chǎn)品的維護(hù)的時(shí)候，做的不好或者是不夠，造成一種簡易的故障，這些故障，一般都是按照使用說明，就可以進(jìn)行很好的處理的，也是非常簡單的一種故障。

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