





為滿足納米級電子束曝光系統(tǒng)的要求,系統(tǒng)設(shè)計了一個納米圖形發(fā)生器和數(shù)模轉(zhuǎn)換電路,并采用機控制。機通過圖形發(fā)生器和數(shù)模轉(zhuǎn)換電路去驅(qū)動等儀器的掃描線圈,5418001國六液位傳感器信譽,從而使電子束偏轉(zhuǎn)并控制束閘的通斷。通過可以對標(biāo)準(zhǔn)樣片進(jìn)行圖像采集以及掃描場的校正。配合精密定位的工件臺,還可以實現(xiàn)曝光場的拼接和套刻。利用配套軟件也可以新建或?qū)攵喾N通用格式的曝光圖形。
曝照所需電子束是由既有的產(chǎn)生的電子束(離子束)提供。
電子射出后,受數(shù)千乃至數(shù)萬伏特之加速電壓驅(qū)動沿顯微鏡中軸向下移動,并受中軸周圍磁透鏡作用形成聚焦電子束而對樣本表面進(jìn)行掃描與圖案刻畫。掃描方式可分為循序掃描與矢量掃描。
掃描過程中,電子束的開啟與阻斷是由電子束阻斷器所控制。電子束阻斷器通常安裝在磁透鏡組上方,其功效為產(chǎn)生一大偏轉(zhuǎn)磁場使電子束完全偏離中軸而無法到達(dá)樣本。
(三) 阻劑(光阻)
阻劑是轉(zhuǎn)移電子束曝照圖案的媒介。阻劑通常是以薄膜形式均勻覆蓋于基材表面。高能電子束的照射會改變阻劑材料的特性,再經(jīng)過顯影后,曝照(負(fù)阻劑)或未曝照(正阻劑)的區(qū)域?qū)粼诨谋砻?,顯出所設(shè)計的微影圖案,而后續(xù)的制程將可進(jìn)一步將此圖案轉(zhuǎn)移到阻劑以下的基材中。

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緩速器對汽車的作用
緩速器是大型車輛(卡車、客車)的輔助制動裝置,使質(zhì)量較大的車輛平穩(wěn)減速而不消耗制動系統(tǒng),小車沒有。
目前用的較多的是電磁緩速器,還有液渦輪緩速器:
電磁緩速器:相當(dāng)于在傳動軸上裝了個“發(fā)電機”,不通電時,5418001國六液位傳感器廠家,無接觸無磨損。需要減速時,5418001國六液位傳感器,司機將儀表板上的開關(guān)打開,傳動軸便受到電磁場的阻力,達(dá)到制動的目的。再踩油門時會自動斷電。優(yōu)點是無磨損,5418001國六液位傳感器純新,缺點是結(jié)構(gòu)龐大。
液渦輪緩速器:在變速箱箱殼后端增加一個渦輪室,當(dāng)制動電路開啟后,使變速箱油在渦輪中加壓產(chǎn)生阻尼達(dá)到制動效果,無磨損但要增加散熱,國內(nèi)少有。
另外還有一些輔助制動結(jié)構(gòu):
排氣輔助制動:大型柴油車發(fā)動機排氣歧管與排氣管連接處有一個碟閥,保持掛擋狀態(tài),撥動儀表板上的制動關(guān)閉,此閥關(guān)閉,造成發(fā)動機悶車從而達(dá)到制動效果,再踩油門時它會自動打開。結(jié)構(gòu)簡單但有損發(fā)動機。
發(fā)動機制動:制動信號使排氣閥關(guān)閉不嚴(yán),活塞上下運動均受到氣流阻尼而產(chǎn)生制動力。無磨損結(jié)構(gòu)緊湊,國內(nèi)尚無。



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