潔凈系統(tǒng)方案:系統(tǒng)流程:新風(fēng)經(jīng)過濾后與回風(fēng)混合,進(jìn)入風(fēng)冷空調(diào)機(jī),通過中效過濾器,經(jīng)末端低阻力高效過濾器后將符合溫濕度、潔凈度要求的空氣送入潔凈室。氣流組織:1萬級間全部采用上送兩側(cè)回風(fēng),車間內(nèi)利用柱位、側(cè)墻做技術(shù)夾層回風(fēng)道,SMT凈化車間方案,接回風(fēng)管道至空氣處理機(jī)組??諝饨?jīng)粗、中高三級過濾器和溫濕度處理后送入凈房。新風(fēng)系統(tǒng)進(jìn)行組、中、二級過濾,以確??諝獾暮瑝m濃度較低,平陰凈化車間方案,減少外部塵源影響,提高潔凈室的凈化效果,線路板凈化車間方案,并大大延長高效過濾器的使用壽命,減少運行維護(hù)費用。新風(fēng)量根據(jù)人員衛(wèi)生新風(fēng)要求(每人新風(fēng)量>35m3/h),并保證潔凈室內(nèi)正壓的要求經(jīng)計算確定。(人員在20人以內(nèi))。系統(tǒng)排風(fēng):有設(shè)備排風(fēng)及工藝要求的房間排風(fēng),此系統(tǒng)由甲方確定方案。









潔凈室功能目的的三大控制重點粉塵、溫度、濕度,是由氣密、回風(fēng)、過濾、冷卻、新風(fēng)等來主宰,而完成這些功能的系統(tǒng)設(shè)備就是構(gòu)成潔凈室的主體:內(nèi)裝(吊頂、墻板)、DCC、 MAU、FFU。方案特點:A.建議新風(fēng)經(jīng)過集中處理后再與回風(fēng)混合,這樣可以減少表冷段的冷處理負(fù)擔(dān); B.這類方案一般可以適用潔凈度較高的如百級、千級或萬級、十萬級等較低的凈化無塵廠房。

由于技術(shù)原因和制造工序的復(fù)雜程度高,集成電路制造是對潔凈度整體要求高的行業(yè)。集成電路由于技術(shù)的復(fù)雜程度與日俱增,對于空氣潔凈度的要求也越來越高,重要工藝區(qū)需保持1-4級的潔凈度。而其他大部分行業(yè)比如食品制造,藥品,醫(yī)學(xué)等行業(yè)對潔凈度的要求大多在5-9級,遠(yuǎn)低于集成電路和新型顯示對潔凈度的要求。隨著技術(shù)的進(jìn)步,集成電路對潔凈度的要求越來越高。


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