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真空系統(tǒng)常用名稱(chēng)①主泵:在真空系統(tǒng)中,用于獲得所需要真空度來(lái)滿(mǎn)足特定工藝要求的真空泵,如真空鍍膜機(jī)中的油擴(kuò)散泵就是主泵。②前級(jí)泵:用于維持某一真空泵前級(jí)壓強(qiáng)低于其臨界前級(jí)壓強(qiáng)的真空泵。如羅茨泵前配置的旋片或滑閥泵就是前級(jí)泵。③粗抽泵:從大氣壓下開(kāi)始抽氣,并將系統(tǒng)壓力抽到另一真空泵開(kāi)始工作的真空泵。如真空鍍膜機(jī)中的滑閥泵,就是粗油泵。


旋轉(zhuǎn)真空泵又有如下幾種形式:① 油封式真空泵:它是利用油類(lèi)密封各運(yùn)動(dòng)部件之間的間隙,減少有害空間的一種旋轉(zhuǎn)變?nèi)菡婵毡谩_@種泵通常帶有氣鎮(zhèn)裝置,故又稱(chēng)氣鎮(zhèn)式真空泵。干式螺桿真空泵:它是一種不用油類(lèi)(或液體)密封的變?nèi)菡婵毡?。③液環(huán)式真空泵:帶有多葉片的轉(zhuǎn)子偏心裝在泵殼內(nèi),當(dāng)它旋轉(zhuǎn)時(shí),把液體(通常為水或油)拋向泵殼內(nèi)形成泵殼同心的環(huán)液,環(huán)液同轉(zhuǎn)子葉片形成了容積周期性變化的幾個(gè)小容積,故亦稱(chēng)旋轉(zhuǎn)變?nèi)菡婵毡谩?/p>



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