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科銳諾(多圖)-絨氈層超微結(jié)構(gòu)技術(shù)服務(wù)

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透射電子顯微鏡的成像原理可分為三種情況:

吸收像:當(dāng)電子射到質(zhì)量、密度大的樣品時,主要的成相作用是散射作用。樣品上質(zhì)量厚度大的地方對電子的散射角大,通過的電子較少,像的亮度較暗。早期的透射電子顯微鏡都是基于這種原理。

衍射像:電子束被樣品衍射后,樣品不同位置的衍射波振幅分布對應(yīng)于樣品中晶體各部分不同的衍射能力,當(dāng)出現(xiàn)晶體缺陷時,缺陷部分的衍射能力與完整區(qū)域不同,絨氈層超微結(jié)構(gòu)技術(shù)服務(wù),從而使衍射波的振幅分布不均勻,反映出晶體缺陷的分布。

相位像:當(dāng)樣品薄至100?以下時,電子可以穿過樣品,波的振幅變化可以忽略,成像來自于相位的變化。

電鏡鏡筒內(nèi)的電子束通道對真空度要求很高,電鏡工作必須保持在10-3~10Pa以上的真空度(的電鏡對真空度的要求更達10Pa以上),因為鏡筒中的殘留氣體分子如果與高速電子碰撞,就會產(chǎn)生電離放電和散射電子,從而引起電子束不穩(wěn)定,增加像差,污染樣品,并且殘留氣體將加速高熱燈絲的氧化,縮短燈絲壽命。獲得高真空是由各種真空泵來共同配合抽取的。機械泵(旋轉(zhuǎn)泵)機械泵因在其他場合使用非常廣泛而比較常見,它工作時是靠泵體內(nèi)的旋轉(zhuǎn)葉輪刮片將空氣吸入、壓縮、排放到外界的。機械泵的抽氣速度每分鐘僅為160L左右 ,工作能力也只能達到0.1~0.01Pa,遠不能滿足電鏡鏡筒對真空度的要求,所以機械泵只做為真空系統(tǒng)的前級泵來使用。

一般電鏡在第2聚光鏡中和物鏡中各裝有2組消像器,稱為聚光鏡消像散器和物鏡消像散器。聚光鏡產(chǎn)生的像散可從電子束斑的橢圓度上看出,它會造成成像面上亮度不均勻和限制分辨率的提高。調(diào)整聚光鏡消像散器(鏡體操作面板上裝有對應(yīng)可調(diào)旋鈕),使橢圓形光斑恢復(fù)到接近圓狀即可基本上消除聚光鏡中存在的像散。物鏡像散能在很大程度上影響成像質(zhì)量,消除起來也比較困難。通常使用放大鏡觀察樣品支持膜上小孔在欠焦時產(chǎn)生的費涅爾圓環(huán)的均勻度,或者使用專門的消像散標(biāo)本來調(diào)整消除,這需要一定的經(jīng)驗和操作技巧。在一些電鏡機型之中,開始出現(xiàn)了自動消像散和自動聚焦等新功能,為電鏡的使用和操作提供了極大的方便。

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