什么是靶材綁定?靶材綁定的適用范圍、流程?
?綁定是指用焊料將靶材與背靶焊接起來。主要有三種的方式:壓接、釬焊和導電膠。
?1.壓接:采用壓條,一般為了提高接觸的良好性,會增加石墨紙、Pb或In皮;
?2.釬焊:一般使用軟釬料的情況下,要求濺射功率小于20W/cm2,釬料常用In、Sn、In-Sn;我司采用銦焊綁定技術。
?3.導電膠:采用的導電膠要耐高溫,厚度在0.02-0.05um。







熱壓法:ITO靶材的熱壓制作過程是在石墨或氧化鋁制的模具內充填入適當粉末以后,以 100kgf/cm 2~1000kgf/cm 2的壓力單軸向加壓,同時以1000℃~1600℃進行燒結。熱壓工藝制作過程所需的成型壓力較小,燒結溫度較低,沈陽銀電極頭,燒結時間較短。但熱壓法生產的ITO靶材由于缺氧率高,氧含量分布不均勻,銀電極頭哪家好,從而影響了生產ITO薄膜的均勻性,且不能生產大尺寸的靶。

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