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真空泵的工作原理原理是利用偏心轉子在泵腔內形成通過旋轉產生體積的變化而將氣體排出泵外，主要是在吸氣過程中，吸氣腔體積增大，真空度降低，將容器內氣體吸入泵腔，在排氣過程中體積變小，島津二手泵TMP280-L-SER出售，壓強增大，zui終通過油封將吸入的氣體排出泵外。

旋片式真空泵( Sliding Vane Rotary Vacuum Pump )具有結構緊湊，島津磁懸浮渦輪泵維修與保養(yǎng)，體積小，重量輕，噪音低，振動小等優(yōu)點。所以，它適用于作擴散泵的前級泵，而且更適用于精密儀器配套和實驗室使用。例如：質譜儀器，冰箱流水線，真空冷凍干燥機等。

羅茨真空泵( Roots Vacuum Pump )是一種旋轉式變容真空泵，須有前級泵配合方可使用在較寬的壓力范圍內，有較大的抽速，對被抽除氣體中含有灰塵和水蒸汽不敏感。廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。主要用于真空機組的主泵，需要用前級泵輔助。如：水環(huán)式真空泵，滑閥真空泵，立式無油真空泵，分子真空泵等。國內zui大羅茨真空泵保持紀錄為20000L/S。

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廣州潽拓光電科技有限公司——島津二手泵TMP280-L-SER出售磁懸浮高真空分子泵維修

擴散泵的缺點是返油問題，加上擋油帽和冷阱及正確操作，其返油率可降到1×10-5mg/cm2min的地步。

油擴散泵致命的缺點就是泵油返流污染被抽系統(tǒng)。經過大量的研究，現代擴散泵由于增加了擋油帽、障板和冷阱等措施，使擴散泵的返油率降得很低。所有的油擴散泵都存在一定程度的返流現象。返流的氣體是少量殘余的碳氫化合物。返流有兩個不同性質的來源：泵油分子朝向擴散泵頂噴咀的上方運動構成泵的主要的返流。其次要的返流是被泵壁冷凝的泵油的遷移或再蒸發(fā)。利用好的鍋爐和噴咀設計，可使主要的返流降至低。在頂噴咀上方設置水冷擋油帽，它已成為頂噴咀的攔截返油的水冷裝置，由于不斷對冷帽結構的改進，使主要返流大大降低。

影響油擴散泵性能的因素如下。

1、油擴散泵的返流。磁懸浮高真空分子泵維修

2、氣體分子的反擴散。

3、擴散泵油的裂化分解，一般擴散泵對其工作油的要求是飽和蒸氣壓以內(室溫下0.00000001Pa左右)，受熱穩(wěn)定性好，不易被氧化，分子量大的高沸點的液體，如硅油是擴散泵中比較理想的工作油。

4、泵清洗不干凈，污染物質留在泵內并重復循環(huán)，影響其真空度。

被抽氣體種類、成分、雜質情況及系統(tǒng)工作時對污染的限制要求

被抽氣體性質及對污染的要求是選擇不同特性真空泵的一個重要條件。它不但與工作時泵的性能有關，而且直接與泵的工作壽命及檢修維護情況有關，特別是在化工生產中，它往往是正確選泵的一個關鍵因素。

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真空泵油有問題

(1)油位過低。解決方案：加足油量到油標中心線。

(3)油被沾污，油質變壞。解決方案：應更換新油。

(3)油的牌號不符。解決方案：換規(guī)定牌號的真空泵油。

(4)油路不通，真空泵腔內沒有保持適當的油量。解決方案：檢查油路及油閥的進油量，保持油路暢通。

真空泵按性能特點和用途分類

（1）低真空泵

泵的極限壓力高于102Pa的真空泵屬于低真空泵。常見的低真空泵有往復式真空泵、旋轉式真空泵、液環(huán)式真空泵、噴射式真空泵以及吸附式真空泵。

（2）中真空泵

極限壓力在102~-10-1Pa的真空泵屬于中真空泵。常見的有羅茨真空泵、多級噴射式真空泵、多級旋轉機械真空泵以及高速旋轉式機械真空泵等。

（3）高真空泵

極限壓力在10-1~10-5Pa的真空泵屬于高真空泵。常見的高真空泵有各種擴散泵及分子泵等。

（4）超高真空泵

極限壓力低于10-5Pa的真空泵屬于超高真空泵。超高真空泵主要有各種離子泵、低溫泵等。