復合分子泵是一種結合了渦輪分子泵和牽引分子泵（或分子拖動泵）工作原理的真空泵。其設計在于泵體內包含高速旋轉的多級渦輪葉片組以及螺旋溝槽或盤片結構。

工作原理：

高速旋轉的渦輪葉片通過撞擊氣體分子，將其從進氣口推向排氣口，主要作用于高真空和中真空區(qū)域（分子流態(tài)）。后級的牽引結構（如溝槽或盤片）則利用氣體分子與高速旋轉表面的粘滯效應，將分子“拖曳”至排氣口，特別適用于前級壓力較高（粘滯流態(tài)）的情況。這種協(xié)同作用實現了寬壓力范圍內的抽氣。

主要技術優(yōu)勢：

1.超限真空與潔凈真空：可達到極高的極限真空（通常優(yōu)于1×10??mbar），且泵腔無油污染，提供極其潔凈的真空環(huán)境，對半導體制造、表面分析等至關重要。

2.寬廣的工作壓力范圍：從大氣壓附近啟動，直至超高真空區(qū)域都能有效工作，減少了配置額外前級泵的需求。

3.高壓縮比：對輕質氣體（如氫氣、氦氣）具有出色的壓縮能力，解決了傳統(tǒng)擴散泵的抽氣盲區(qū)問題。

4.結構緊湊，啟動迅速：相比純渦輪泵，對前級真空度要求略低，啟動更快?，F代設計使其體積更小，易于集成。

5.低維護成本：無油設計顯著降低了維護成本和污染風險。

典型應用：

復合分子泵是現代超高真空和極高真空系統(tǒng)的動力源，廣泛應用于半導體集成電路制造、平板顯示鍍膜、表面科學分析（如XPS,AES）、粒子、同步輻射光源、空間環(huán)境模擬裝置、真空冶金與材料研究等領域，是支撐前沿科技與制造的關鍵基礎設備。