復(fù)合分子泵（HybridMolecularPump,HMP）是結(jié)合了渦輪分子泵（TMP）高速抽氣能力和牽引分子泵（DP）寬泛工作壓力范圍、高壓縮比優(yōu)勢的真空獲得設(shè)備。它通常采用前級渦輪葉片結(jié)合后級螺旋槽或牽引葉片的復(fù)合結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，能夠在極寬的壓力范圍內(nèi)（從大氣壓附近直至超高真空）、穩(wěn)定地工作，特別適用于需要快速抽至高真空及超高真空，且對抽氣能力、極限真空、抗返流性能要求苛刻的領(lǐng)域。

技術(shù)服務(wù)內(nèi)容：

1.選型咨詢與方案設(shè)計(jì)：基于客戶的具體應(yīng)用場景（如半導(dǎo)體工藝、分析儀器、科研實(shí)驗(yàn)、鍍膜、光伏等）、工藝氣體、所需極限真空、抽速要求、空間限制等因素，提供的復(fù)合分子泵選型建議和整體真空系統(tǒng)解決方案。

2.安裝、調(diào)試與啟動(dòng)：提供的現(xiàn)場安裝指導(dǎo)或服務(wù)，確保泵體安裝正確、連接可靠（法蘭、電纜、冷卻管路等）。進(jìn)行系統(tǒng)調(diào)試，包括與控制器、前級泵的聯(lián)調(diào)，參數(shù)設(shè)置優(yōu)化，確保泵組達(dá)到佳性能狀態(tài)。

3.運(yùn)行維護(hù)與保養(yǎng)：提供定期巡檢、性能檢測（如抽速、極限真空測試）、預(yù)防性維護(hù)計(jì)劃（如軸承狀態(tài)監(jiān)測、潤滑油脂更換建議）、部件壽命評估等服務(wù)，以延長設(shè)備使用壽命，保障系統(tǒng)穩(wěn)定運(yùn)行。

4.故障診斷與維修：當(dāng)泵組出現(xiàn)異常（如異響、振動(dòng)過大、抽速下降、極限真空變差、無法啟動(dòng)等）時(shí)，提供快速、的遠(yuǎn)程或現(xiàn)場故障診斷服務(wù)。具備修復(fù)組件（如轉(zhuǎn)子組件、軸承、電機(jī)、密封件等）的能力，提供原廠或備件更換服務(wù)。

5.性能優(yōu)化與升級：針對運(yùn)行中的系統(tǒng)，提供性能優(yōu)化建議（如優(yōu)化抽氣曲線、節(jié)能運(yùn)行模式）。對于老舊系統(tǒng)，可提供泵體升級或替換服務(wù)，提升整體真空系統(tǒng)效能。

6.技術(shù)培訓(xùn)與支持：提供關(guān)于復(fù)合分子泵原理、操作規(guī)范、日常維護(hù)要點(diǎn)、常見問題處理等方面的技術(shù)培訓(xùn)，提升客戶技術(shù)人員的操作和維護(hù)能力。提供持續(xù)的技術(shù)咨詢支持。