復合分子泵作為高/超高真空系統(tǒng)的設備，其性能直接關系到真空環(huán)境的品質與穩(wěn)定性。對現(xiàn)有復合分子泵進行升級改造，重點在于提升極限真空度、增加抽速、優(yōu)化能耗比及增強可靠性。

關鍵技術升級方向：

1.復合結構優(yōu)化：改進渦輪級與分子級的匹配設計，優(yōu)化葉片幾何構型與級間流道，減少氣體返流，提升壓縮比。采用計算流體動力學（CFD）輔助設計，實現(xiàn)流場分布化。

2.材料應用：關鍵轉子部件采用高強度輕質合金或碳纖維復合材料，顯著降低轉動慣量，提限轉速及動態(tài)穩(wěn)定性；摩擦副選用自潤滑耐磨材料，延長使用壽命。

3.驅動與控制升級：采用高精度無刷直流電機搭配矢量變頻控制，實現(xiàn)轉速調節(jié)與快速啟停；集成智能控制器，具備過載保護、振動監(jiān)測、故障診斷及遠程通訊功能。

4.密封與散熱強化：優(yōu)化軸密封結構，選用全金屬密封或特殊聚合物密封圈，保障高真空側密封性能；改進冷卻通道設計，提升散熱效率，確保高溫工況下的持續(xù)運行能力。