進口分子泵是高精度真空設(shè)備的部件，其維護保養(yǎng)直接影響設(shè)備壽命和性能穩(wěn)定性。以下為關(guān)鍵維護要點：

日常維護

1.表面清潔：每周使用無絨布擦拭泵體外殼，保持散熱孔暢通，防止粉塵堆積影響散熱

2.振動監(jiān)測：每日記錄振動數(shù)據(jù)，異常振動（>2.5mm/s）需停機檢查

3.冷卻系統(tǒng)：每月檢查水冷管路密封性，確保流量≥5L/min，溫度≤35℃

定期保養(yǎng)

-油潤滑系統(tǒng)：每2000小時更換潤滑油（如KrytoxGPL系列），同時清洗油箱

-軸承維護：每5000小時進行軸承狀態(tài)檢測，使用工具測量軸向游隙（標(biāo)準(zhǔn)值0.02-0.05mm）

-密封件更換：每年更換所有氟橡膠密封圈，安裝時需涂抹真空硅脂（如DowCorningHV-10）

維護

1.轉(zhuǎn)子平衡：每兩年進行動平衡校正，殘余不平衡量應(yīng)＜0.5g·mm/kg

2.電氣檢測：使用兆歐表檢測繞組絕緣電阻（標(biāo)準(zhǔn)值≥100MΩ）

3.真空性能測試：通過氦質(zhì)譜檢漏儀檢測，泄漏率需＜1×10??mbar·L/s

注意事項

-維護前必須斷電2小時以上，確保轉(zhuǎn)子完全停轉(zhuǎn)

-拆卸時使用原廠工具，避免損傷精密部件

-保存完整的維護記錄，包括更換備件的批次號

建議每年度委托原廠工程師進行深度保養(yǎng)，特別是磁懸浮軸承系統(tǒng)（如EdwardsMagLev系列）需設(shè)備校準(zhǔn)。規(guī)范維護可使分子泵壽命延長至10萬小時以上，故障率降低40%。

>維護過程中發(fā)現(xiàn)異常噪音或真空度下降＞20%，應(yīng)立即停止運行并聯(lián)系設(shè)備供應(yīng)商。