在超高真空（UHV）和極高真空（XHV）領域，磁懸浮分子泵憑借其無油污染、高轉速、長壽命等優(yōu)勢，成為現(xiàn)代精密制造與科研的關鍵設備。其性能指標——抽速（PumpingSpeed），直接決定了真空系統(tǒng)的抽氣效率與極限真空水平。

抽速的本質(zhì)與范圍

抽速（S）定義為泵在入口處單位時間內(nèi)能抽除的氣體體積，單位為升/秒（L/s）。對于磁懸浮分子泵：

*典型范圍：標稱抽速通常在10L/s到2000L/s之間，覆蓋了從中小型實驗室設備到大型工業(yè)系統(tǒng)的廣泛需求。

*影響：抽速越大，意味著泵在單位時間內(nèi)能處理更多氣體，系統(tǒng)達到目標真空度所需時間越短，尤其對大型腔室或高氣載應用至關重要。

實際抽速的關鍵影響因素

標稱抽速（通常針對氮氣N?在特定入口壓力下測得）僅為參考值，實際應用中需關注：

1.氣體種類：分子泵對輕質(zhì)氣體（如氫氣H?、氦氣He）抽速顯著低于氮氣（N?）。選購時需明確主要抽除氣體類型。

2.入口壓力：抽速在分子流態(tài)（通常<10?2mbar）下達到峰值，壓力過高或過低（接近極限真空）時抽速均會下降。

3.前級泵匹配：分子泵依賴前級泵（如干泵）維持其工作壓力范圍。前級泵抽速不足會限制分子泵性能發(fā)揮。

4.管道流導：連接泵與真空腔室的管道、閥門會產(chǎn)生流阻（流導C），實際有效抽速（Seff）遠低于泵標稱抽速（S），遵循公式：1/Seff≈1/S+1/C。大口徑、短管路是優(yōu)化系統(tǒng)抽速的關鍵。

5.系統(tǒng)密封性：真空泄漏會引入額外氣體負載，消耗泵的有效抽速，劣化極限真空。