磁懸浮分子泵返油是指泵內(nèi)潤(rùn)滑油或前級(jí)泵的油蒸氣在特定條件下（如停機(jī)、溫度變化、密封失效）倒流回高/超高真空腔體的現(xiàn)象。這不僅污染腔體、樣品或工藝，降低真空度，更可能嚴(yán)重影響產(chǎn)品良率或?qū)嶒?yàn)結(jié)果。

返油是磁懸浮分子泵應(yīng)用中的重大威脅。處理需及時(shí)隔離、清潔腔體（尤其烘烤）、修復(fù)泵體密封與狀態(tài)。更關(guān)鍵的是系統(tǒng)性預(yù)防：嚴(yán)格執(zhí)行啟停規(guī)范、加裝吸附阱/冷阱、保障密封、管理前級(jí)泵并進(jìn)行有效監(jiān)控，方能大限度避免返油發(fā)生，保障真空系統(tǒng)的潔凈與運(yùn)行。