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渦輪分子泵負載太大
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  • 渦輪分子泵負載過大主要源于過高的氣體負荷(前級真空不足、大漏氣、工藝放氣)或內(nèi)部機械故障(軸承損壞、摩擦、異物)。應首先快速排查前級壓力和系統(tǒng)泄漏/工藝放氣情況。若排除氣體負荷問題,則極可能是泵內(nèi)部機械故障,需檢修。忽視此問題會嚴重損害設(shè)備。

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