分子泵作為現(xiàn)代高真空、超高真空系統(tǒng)的動(dòng)力源，其極限真空性能是衡量其性能的關(guān)鍵指標(biāo)。極限真空指在特定條件下，分子泵所能達(dá)到并穩(wěn)定維持的低壓力。理解這一極限及其制約因素，對(duì)優(yōu)化真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)至關(guān)重要。

理論上，分子泵的極限真空由泵自身的返流和壓縮比決定。理想狀態(tài)下，其極限應(yīng)趨近于零壓力。然而，現(xiàn)實(shí)應(yīng)用中，多種因素共同構(gòu)筑了實(shí)際極限的壁壘：

1.氣體返流：這是限制。被壓縮的氣體分子并非全部排走，總有一部分會(huì)克服泵內(nèi)壓力梯度反向擴(kuò)散回被抽容器，形成“泄漏”。尤其在極高真空下，這種返流效應(yīng)尤為顯著。

2.材料放氣：泵體內(nèi)部所有材料（金屬、密封圈、潤滑劑等）在真空環(huán)境下會(huì)持續(xù)釋放吸附或溶解的氣體（主要是水汽、氫氣、碳?xì)浠衔铮?。即使?jīng)過嚴(yán)格處理，極低速率的氣體釋放仍是極限真空的“天花板”。

3.前級(jí)泵反流：前級(jí)泵（如旋片泵、干泵）的油蒸氣或工作氣體可能通過分子泵回流至主真空腔，污染系統(tǒng)并抬升壓力。

4.密封泄漏：真空腔體、法蘭接口、電纜貫穿件等處的微小泄漏，會(huì)持續(xù)引入大氣氣體，直接阻礙極限真空的達(dá)成。

5.真空測(cè)量限制：在極高真空區(qū)域（如<10^{-8}Pa），真空規(guī)本身的測(cè)量下限、零點(diǎn)漂移、放氣效應(yīng)等也會(huì)影響對(duì)真實(shí)極限的準(zhǔn)確判斷。

現(xiàn)代分子泵（尤其是磁懸浮渦輪分子泵）在理想條件下（如充分烘烤除氣、使用無油前級(jí)泵、極低泄漏率系統(tǒng)）可達(dá)到10^{-7}Pa至10^{-9}Pa甚至更低的極限真空。然而，實(shí)際工業(yè)或?qū)嶒?yàn)室系統(tǒng)受限于成本、工藝、時(shí)間等因素，穩(wěn)定在10^{-6}Pa到10^{-8}Pa范圍更為常見。

逼近極限的關(guān)鍵在于：嚴(yán)格選擇低放氣材料、烘烤除氣、使用無油前級(jí)泵、確保超高密封性、延長充分抽氣時(shí)間。分子泵的極限真空并非孤立指標(biāo)，而是系統(tǒng)設(shè)計(jì)、工藝處理與泵性能共同作用的結(jié)果，深刻理解其限制因素方能有效挖掘其潛力。