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PI膜膜厚測(cè)試儀是使用哪種測(cè)量原理?
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  • PI膜膜厚測(cè)試儀主要基于光學(xué)干涉原理進(jìn)行膜厚的測(cè)量。這一原理的核心在于利用光波在薄膜上的反射和干涉現(xiàn)象來(lái)確定薄膜的厚度。

    具體來(lái)說(shuō),當(dāng)PI膜膜厚測(cè)試儀發(fā)出不同波長(zhǎng)的光波并穿透樣品膜層時(shí),膜的上下表面會(huì)反射光線,這些反射光被儀器接收并測(cè)量。由于薄膜的上下表面反射光之間存在相位差,這種相位差的變化與薄膜的厚度和折射率密切相關(guān)。當(dāng)相位差為波長(zhǎng)的整數(shù)倍時(shí),反射光之間產(chǎn)生建設(shè)性疊加,反射率最大;而當(dāng)相位差為半波長(zhǎng)時(shí),反射光之間則出現(xiàn)破壞性疊加,反射率最低。

    通過(guò)測(cè)量這種相位差的變化,并結(jié)合已知材料的光學(xué)參數(shù)(如折射率和消光系數(shù)),可以推導(dǎo)出薄膜的反射率曲線。然后,將該反射率曲線與設(shè)備實(shí)際測(cè)得的反射率曲線進(jìn)行對(duì)比,當(dāng)兩者完美擬合時(shí),即可通過(guò)解析干涉圖形來(lái)確定薄膜的厚度。

    值得注意的是,這種測(cè)量方法主要適用于透明或半透明材料制成的薄膜,因?yàn)楣獠ㄐ枰軌虼┩笜悠纺硬拍苓M(jìn)行反射和干涉的測(cè)量。此外,PI膜膜厚測(cè)試儀具有高精度、非接觸式測(cè)量等優(yōu)點(diǎn),廣泛應(yīng)用于薄膜制備、質(zhì)量控制和科學(xué)研究等領(lǐng)域。

    綜上所述,PI膜膜厚測(cè)試儀利用光學(xué)干涉原理,通過(guò)測(cè)量光波在薄膜上的反射和干涉現(xiàn)象,從而精確測(cè)定薄膜的厚度。

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