渦輪分子泵是高或超高真空系統(tǒng)中常用的抽氣設(shè)備，其故障維修方法主要包括以下幾個(gè)方面：1.氣體泄漏處理當(dāng)發(fā)現(xiàn)泵的極限真空度低時(shí)可能是由于系統(tǒng)漏氣引起的。此時(shí)應(yīng)使用檢漏儀器查找并確定具體的泄位置對(duì)法蘭連接處進(jìn)行重新密封或更換磨損的密封圈以解決泄露問(wèn)題；對(duì)于因材料老化造成的小裂紋可以采用的密封膠進(jìn)行修補(bǔ)。此外還需檢查并確保排氣管道和閥門的尺寸符合規(guī)定以避免電導(dǎo)值損失導(dǎo)致的性能下降。2.異響與振動(dòng)檢修轉(zhuǎn)子不平衡、軸承損壞等都可能導(dǎo)致渦輪分子泵在運(yùn)行過(guò)程中產(chǎn)生較大的噪音及震動(dòng)針對(duì)這類情況需要停機(jī)后進(jìn)行檢查并根據(jù)檢查結(jié)果采取相應(yīng)的措施如重新校正轉(zhuǎn)子的平衡性更換潤(rùn)滑不良的軸承等以確保設(shè)備的穩(wěn)定運(yùn)行減少異常聲響的產(chǎn)生以及防止進(jìn)一步損害的發(fā)生。同時(shí)還需要確保按照說(shuō)明書(shū)正確安裝泵體避免由于安放不當(dāng)導(dǎo)致的問(wèn)題發(fā)生。3.過(guò)熱現(xiàn)象應(yīng)對(duì)：過(guò)熱通常是由于冷卻系統(tǒng)故障造成的需要檢查水冷或者風(fēng)冷系統(tǒng)的運(yùn)行狀態(tài)確保其正常工作以降低溫度保障設(shè)備的穩(wěn)定運(yùn)行和性；另外還要加強(qiáng)日常維護(hù)保養(yǎng)工作以減少摩擦損耗從而有效預(yù)防出現(xiàn)過(guò)熱的情形影響正常的工作進(jìn)度和使用壽命期限等問(wèn)題出現(xiàn)的情況發(fā)生概率大小程度的高低變化發(fā)展趨勢(shì)等情況發(fā)展態(tài)勢(shì)的好壞與否等等一系列相關(guān)問(wèn)題得到妥善合理地解決處理好到位才行呢！