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真空泵吸入的如果是腐蝕性氣體，會腐蝕泵內金屬零件與油發(fā)生化學變化。另外，吸入空氣中往往含有水汽，引起真空泵油的乳化，故要求有良好的抗腐蝕性與抗乳化性。在真空脫水工藝使用的真空泵油的乳化更為突出。
對于不同類型的真空泵，如旋片式真空泵或液環(huán)真空泵，拆卸步驟可能會有所不同。例如，旋片式真空泵的拆卸可能包括拆卸頂蓋、電機轉子、后蓋等步驟，而液環(huán)真空泵的拆卸則可能涉及拆卸軸承、填料壓蓋、端蓋等部件。在拆卸過程中，應遵循特定的順序，并注意不要損壞任何部件，以確保后續(xù)的重新組裝和使用的順利進行。
真空泵溫太高，被抽氣體溫度過高。應讓氣體冷卻后再進入真空泵內。吸入硬物使真空泵體磨損。應拆開真空泵除去硬物，對劃傷部件進行修復或更換。

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