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維修Edwards真空分子泵要注意哪些細節(jié)？十萬火急！: http://www.sanlong2017.com/ask/7940522.html

Edwards真空分子泵不能在大氣中打開，必須在達到10Pa時打開。打開相應的高壓閥以啟動分子泵
當出現(xiàn)警告信息“ EF”時，檢查冷卻水通道是否暢通，并用機q進行檢查。在再次打開Edwards真空分子泵之前，請確保水路暢通。當出現(xiàn)其他報警信號時，嚴禁再次啟動分子泵進行后處理。
打開Edwards真空分子泵之前，必須先打開冷卻水閥。分子泵的葉輪停止后，必須關閉冷卻水閥。

真空泵出現(xiàn)故障要怎么處理？誰能幫忙回答一下

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