擴(kuò)散泵是一種高真空泵，通過(guò)擴(kuò)散氣體分子的速度差異來(lái)實(shí)現(xiàn)氣體抽出。它通常與其他低真空泵(如液環(huán)泵或旋片泵)結(jié)合使用，以提供更高的真空度。擴(kuò)散泵廠泛用于半導(dǎo)體制造和真窄冶金等工業(yè)領(lǐng)域。 全文

渦輪分子泵是一種高真空獲取設(shè)備，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、鍍膜、科研等領(lǐng)域。正確使用可延長(zhǎng)泵體壽命并確保性能穩(wěn)定，操作流程如下：一、安裝與準(zhǔn)備 1. 安裝環(huán)境需干燥、無(wú)塵，避免振動(dòng)源，泵體垂直固定于平穩(wěn)基座.. 全文

當(dāng)出現(xiàn)警告信息“ EF”時(shí)，檢查冷卻水通道是否暢通，并用機(jī)q進(jìn)行檢查。 在再次打開愛德華分子泵維修之前，請(qǐng)確保水路暢通。 當(dāng)出現(xiàn)其他報(bào)警信號(hào)時(shí)，嚴(yán)禁再次啟動(dòng)分子泵進(jìn)行后處理。 全文

真空度很好的情況下，Edwards進(jìn)口分子泵油為何會(huì)返到前級(jí)管道？ 原因：油池裂開或密封不良 解決方法：檢查油池 全文