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檢查真空表是不是出現(xiàn)了問題，愛德華分子泵維修出口是否打開，機械泵油是否太臟，機械泵是否旋轉(zhuǎn)，系統(tǒng)是否漏氣。分子泵的葉片或轉(zhuǎn)子也可能損壞。您可以使用自己的工具移動刀片來判斷它是否可以旋轉(zhuǎn)。分子泵加速指示燈不亮。電路板上的保險絲被燒毀了。更換保險絲或檢查是否有短路。
打開愛德華分子泵維修之前，必須先打開冷卻水閥。分子泵的葉輪停止后，必須關(guān)閉冷卻水閥。
當(dāng)愛德華分子泵維修M2（方框2）或M7的真空度始終沒有到位時，請檢查旋片泵的電磁閥是否正常工作。

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