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Edwards進(jìn)口分子泵故障燈亮。檢查電路板設(shè)置開關(guān)是否在R位置，此時應(yīng)在N位置。檢查風(fēng)扇是否停止。如果風(fēng)扇正常，可能是分子泵電源故障。請聯(lián)系制造商。
當(dāng)出現(xiàn)警告信息“ EF”時，檢查冷卻水通道是否暢通，并用機(jī)q進(jìn)行檢查。在再次打開Edwards進(jìn)口分子泵之前，請確保水路暢通。當(dāng)出現(xiàn)其他報警信號時，嚴(yán)禁再次啟動分子泵進(jìn)行后處理。
檢查真空表是不是出現(xiàn)了問題，Edwards進(jìn)口分子泵出口是否打開，機(jī)械泵油是否太臟，機(jī)械泵是否旋轉(zhuǎn)，系統(tǒng)是否漏氣。分子泵的葉片或轉(zhuǎn)子也可能損壞。您可以使用自己的工具移動刀片來判斷它是否可以旋轉(zhuǎn)。分子泵加速指示燈不亮。電路板上的保險絲被燒毀了。更換保險絲或檢查是否有短路。

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