真空泵達(dá)不到極限壓強(qiáng)原因及處理措施測(cè)量方式或規(guī)管不合適——使用正確的測(cè)量方法及規(guī)管/在泵的進(jìn)氣口處直接測(cè)量真空度防返油閥失效——維修防返油閥排氣閥故障——維修排氣閥真空泵油不合適——換油（必要時(shí)對(duì)油脫.. 全文

Edwards進(jìn)口分子泵為何會(huì)發(fā)生半邊熱，半邊冷的現(xiàn)象？ 原因：附近有光照或其他熱源 解決方法：避免光照或熱源 全文

擴(kuò)散泵是一種高真空泵，通過擴(kuò)散氣體分子的速度差異來實(shí)現(xiàn)氣體抽出。它通常與其他低真空泵(如液環(huán)泵或旋片泵)結(jié)合使用，以提供更高的真空度。擴(kuò)散泵廠泛用于半導(dǎo)體制造和真窄冶金等工業(yè)領(lǐng)域。 全文

愛德華分子泵為何會(huì)發(fā)生半邊熱，半邊冷的現(xiàn)象？ 原因：附近有光照或其他熱源 解決方法：避免光照或熱源 全文